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油擴(kuò)散泵的發(fā)展趨向特點


(1)采用飽和蒸氣壓低,性能好的新工作液,以提高泵的極限真空。如聚苯醚、聚乙烯醚等,F(xiàn)在普遍使用的是硅油。

(2)改進(jìn)結(jié)構(gòu),提高抽速。

(3)降低泵的反油率。例如在擋板敷聚四氟乙烯可使返油率大為減少。

(4)縮短泵的啟動時間。

(5)擴(kuò)大抽氣工作壓強范圍,國外在0.4~10-8Pa之間,抽速不變。

(6)提高最大反壓強,國外較好的泵排壓在79.99-106.66Pa之間。

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