超高真空泛指壓強低于1×10-6Pa的真空空間.超高真空的排氣是在高真空排氣之后進一步排除來自于容器壁的氣源。這些氣源有被器壁吸附和吸收的氣體，有微量的滲透氣體。有與固體表面雜質反應產(chǎn)生的氣體，還有測量壓強的規(guī)管因受熱而放出的氣體等。由此可見.掌握各種材料的放氣、滲透和蒸氣壓的詳細資料，以及與超高真空相適應的各種抽氣手段是設計好超高真空系統(tǒng)的關鍵。

超高真空系統(tǒng)設計與高真空系統(tǒng)有相同之處，如管路的流導計算，殼體強度計算，主泵抽速計算及泵之間匹配選擇，真空元件的清沽處理及檢漏等。

超高真空系統(tǒng)設計也有許多不同之處:選擇真空泵的方法不同;對材料要求更為嚴格;密封結構和密封材料不同;需采用烘烤措施，焊接結構和方法不同;對漏率控制更為嚴格等。